Filmetrics F3-sX半导体薄膜测量仪

Filmetrics F3-sX半导体薄膜测量仪满足薄膜厚度范围从15nm到3mm的先进厚度测试系统

F3-sX家族利用光谱反射原理，可以测试众多半导体及电解层的厚度，可测大厚度达3毫米。此类厚膜，相较于较薄膜层表面较粗糙且不均匀，F3-sX系列配置10微米的测试光斑直径因而可以快速容易的测量其他膜厚测试仪器不能测量的材料膜层。而且仅在几分之一秒内完成。

波长选配

Filmetrics F3-sX半导体薄膜测量仪采用的是近红外光（NIR）来测量膜层厚度，因此可以测试一些肉眼看是不透明的膜层（ 比如半导体膜层） 。980nm波长型号，F3-s980，专门针对低成本预算应用。F3-s1310针对于高参杂硅应用。F3-s1550则针对较厚膜层设计。

测量原理为何？

FILMeasure分析-薄膜分析的标准部件

可选配件

应用

1.Si晶圆厚度测试

2.保形涂层

3.IC 芯片失效分析

4.厚光刻胶（比如SU-8光刻胶）

选择Filmetrics的优势

桌面式薄膜厚度测量仪器

24小时电话在线支持

所有系统皆使用直观的标准分析软件

附加特性

1.嵌入式在线诊断方式

2.免费离线分析软件

3.精细的历史数据功能，帮助用户有效地

4.存储，重现与绘制测试结果