FilmSense FS-1多波长椭偏仪使用长寿命LED光源设计，使用寿命大于5000小时，同时FS-1的设计结构没有转动部件以确保设备的稳定性。总的来讲，FS-1是一台简单易用的紧凑型设计的椭偏仪但它能提供快速、可靠的薄膜测量。
FilmSense 椭偏仪的优点：
1、没有复杂的软件设置和维护。
2、测量精度只有用本仪器才能达到。
3、快速多次测量（多波长数据在10毫秒）且长期可靠性。
4、长寿命（>50000小时），不用频繁更换昂贵的灯泡，或定时校正或周期维护。
5、器对薄膜Δ参数相位差极其敏感，能够准确的测量薄膜厚度低至0?。
6、椭偏仪是测量比率，所以它对光束强度的变化，或样品的缺陷引起散射光不敏感的。
7、仪器在每个波长测量2个量(Ψ and Δ)，可以确定2个定量比如薄膜厚度，以及光学常数或基底的折射系数和消光系数。
FilmSense 椭偏仪的应用：
1、FS -1可用于实验室研究，教学，在线制程监控，工业品质控制等应用。
2、半导体行业：硅的氧化物和氮化物，高和低k介质、多晶和非晶硅薄膜，光刻胶。
3、光学涂覆工业：高、低折射率薄膜如SiO2，TiO2，Ta2O5，MgF2，等。
4、显示行业：导电层（如ITO），非晶硅薄膜、有机薄膜（OLED技术）。
5、数据存储产业：类金刚石薄膜。
6、R&D 工序：薄膜沉积的原位表征（速率和光学常数）对应工艺条件的变化值，适用于MBE、MOCVD、ALD、溅射等。
7、化学和生物：亚-单层材料吸附液体中的细胞实验检测。
8、工业：在线监测和控制薄膜的厚度。
欢迎来到岱美仪器技术服务（上海）有限公司网站！
网站首页
