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位移传感器作为工业自动化与精密制造的核心组件,其非接触式高分辨率近距离测量技术正推动制造业向智能化、高精度方向演进。基于电容、激光、电磁等原理的非接触式传感器,通过消除机械磨损与环境干扰,实现了亚微米级位移测量,广泛应用于半导体加工、航空航...
匀胶机通过高速旋转基底产生的离心力,实现了胶体溶液在微纳结构表面的均匀涂覆,在微阵列电极制备与生物分子功能化中展现出价值。在微阵列电极领域,匀胶机可精确控制导电聚合物、水凝胶等材料的成膜厚度与均匀性。例如,在制备微阵列化水凝胶电极时,匀胶机将水凝胶前驱液均匀铺展在微阵列硅片基底上,结合真空干燥与退火处理,可显著降低水凝胶与基底间的结合力,从而获得规则、完整的微米级四棱柱状或金字塔状导电水凝胶阵列。这种结构可提升电极的电化学活性表面积,增强HER(析氢反应)与OER(析氧反应)...
硅片作为半导体、光伏及微电子等领域的核心材料,其厚度精度直接影响产品质量与性能。不同应用场景对厚度测量提出多样化需求,催生出一系列精准高效的测量技术。本文结合技术原理与实际应用场景,系统阐述多种硅片厚度测量方法。一、接触式测量:机械与压电技术的结合1.机械测微计法通过螺旋测微器或千分尺对硅片进行接触式测量,操作简单直观。然而受限于测量点数量,仅适用于抽检,且可能因压力导致表面微损伤,适用于低精度要求的场合。2.电感测微仪利用电感线圈对距离变化的敏感性,通过接触式测头检测厚度变...
在半导体制造、光伏产业等精密制造领域,硅片厚度是影响芯片性能、太阳能电池效率的核心参数之一。硅片厚度测量仪作为一种高精度检测工具,其正确的操作方法直接关系到测量数据的可靠性。本文从基础到进阶,系统解析测量仪的操作要点,助力工程师快速掌握这一关键技术。一、测量前的准备工作1.清洁与环境控制①使用无尘布和酒精擦拭硅片表面,避免指纹、油渍等污染影响测量精度。②确保实验室温度稳定在(23±2)℃、湿度≤60%,防止热胀冷缩导致误差。2.设备预热与校准①开机后等待10-1...
3D划痕仪作为材料表面力学性能分析的核心工具,其核心功能在于通过精密力学加载与三维形貌成像的协同作用,实现涂层附着力、表面硬度等参数的量化评估。本文从机械结构、信号采集与数据处理三方面解析其工作原理。一、机械结构:多轴联动与模块化设计的协同3D划痕仪采用高精度XYZ三轴运动平台,其中Z轴配备闭环控制加载系统,可实现恒定力、递增力或台阶增力加载模式。划痕头通过压电陶瓷驱动器提供亚纳米级位移精度,加载力范围覆盖1000mN至200N,满足从纳米涂层到宏观材料的测试需求。设备支持快...
在现代半导体制造和微纳加工领域,光刻机是实现精密图形转移的关键设备。其中,接触式光刻机以其特殊的工艺和高精度,在芯片制造等行业发挥着重要作用。那么,它的精度究竟有多高呢?接触式光刻机的精度通常以线宽和分辨率来衡量。线宽指的是能够清晰制造出的最小线条宽度,而分辨率则是光刻机能够分辨和复制出的最小特征尺寸。一般来说,高级的设备能够达到亚微米甚至纳米级别的精度。在早期,随着技术的发展,设备的线宽精度从几十微米逐步提升到了微米级别。这一进步使得芯片制造能够在更小的尺寸上集成更多的电路...