硅片电阻率测试模组是一款测量圆柱晶体硅电阻率测试仪器，可测量硅芯，检磷棒，检硼棒，籽晶等，由于仪器大大消除了珀尔帖效应、塞贝克效应、少子注入效应等负效应的影响，因此测试精度大大提高，量程实现了电阻率从10-4欧姆 . 厘米到10+4欧姆.厘米（可扩展）的测试范围。因此仪器具有测量精度高、稳定性好、测量范围广、结构紧凑、使用方便等特点。是西门子法、硅烷法等工艺生产原生多晶硅料的企业、物理提纯生产多晶硅料生产企业、光伏及半导体材料厂、器件厂、科研部门、高等院校以及需要超大量程测试电阻率测试的企业的最佳帮手。
硅片电阻率测试模组的使用特点：
1、适合检测硅芯，检磷棒，检硼棒，籽晶等圆柱晶体硅；
2、适用于西门子法、硅烷法等工艺生产原生多晶硅料的企业；
3、适用于物理提纯生产多晶硅料生产企业；
4、适用于光伏拉晶铸锭及 IC 半导体器件企业；
5、适用于科研部门、高等院校及需要超大量程测量电阻率的企业；
6、仪器消除了珀尔帖效应、塞贝克效应、少子注入效应等负效应的影响，因此测试精度大大提高；
7、测量精度高，除了具有厚度修正功能外、还有温度修正、圆片直径修正等功能；
8、良好的设计能有效消除测量引线和接触电阻产生的误差， 实现了测量的高精度和极宽的量程范围；
9、双数字表结构使测量更精确，操作更简便；
10、具有强大的测试数据查询及打印功能；
11、测量系统可实现自动换向测量、求平均值、最大值、最小值、平均百分变化率等；
12、四探针头采用进口红宝石轴套导向结构，使探针的游移率减小，测量重复性大大提高；
13、采用进口元器件，留有更大的安全系数，大大提高了测试仪的可靠性和使用寿命；
14、具有正测反测的功能，保证测试结果的准确性；
15、具有抗强磁场和抗高频设备的性能。
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