电镜隔振台是一款紧凑型模块化的主动隔振系统，有利于为基础研究、应用研究、生产等领域所用精密仪器创造稳定的测量环境。本产品可在宽频率范围内进行隔振，为原子力显微镜、非接触式表面轮廓仪、微型检测设备等提供优异的隔振性能。
工作原理：
安装有测量和制造设备的地板或多或少会有振动。如果这些振动对设备造成不利影响，有效的解决方案则是使用隔振台，以便营造适合该设备的条件。
电镜隔振台使用电气控制，通过对传入振动施加反方向的力来立即消除振动。传感器不断监测振动，并基于该信息，执行器沿相反方向产生作用力，并继续产生最佳的振动隔离状态。隔振台擅长于10Hz以下的低频范围内的隔振。
电镜隔振台采用先进的隔振技术，适用于任何研究情况下，可以隔离6个自由度方向上的振动，包括水平和垂直方向。本产品平台利用控制器内的压电加速度传感器来传感外界传入的振动，通过将外界的压力信息转换为电信号发送至隔离模块中的压电换能器中，然后改换能器产生一个与传入压力大小相等，相位相反的压力信号来消除传入振动。隔振系统利用一个反馈回路来消除隔振系统的机械共振。可为实验室中对震动敏感的设备如电镜，光学器件等精密仪器隔离来自地面的震动，提供稳定的测试环境。 
应用范围：
1、超高真空扫描探针显微镜（UHV-SPM）；
2、光刻工具；
3、高精度计量工具；
4、光谱仪器。
电镜隔振台的性能优势：
1、5-20ms响应时间；
2、无低频共振、无空气要求；
3、低频隔振性能优异，安装和使用简单；
4、系统主动检测输入振动并动态消除；
5、紧凑、模块化的多功能设计；
6、稳定性高，能*连续使用多年；
7、六个空间方向自由隔振（0.5Hz-200Hz主动隔振，>200Hz被动隔振）。
