一分钟带您快速了解多波段椭偏仪的构造

　　近年来，随着仪器行业的不断发展，多波段椭偏仪在市场上得到了快速地发展。由于其突出的表现，受到了广泛用户的青睐。目前本产品可以适用于超薄膜，与样品非接触等，下面我们就来具体的了解一下这款仪器！

　　在多波段椭偏仪的测量中使用不同的硬件配置，但每种配置都必须能产生已知偏振态的光束。测量由被测样品反射后光的偏振态。这要求仪器能够量化偏振态的变化量ρ。

 

　　有些仪器测量ρ是通过旋转确定初始偏振光状态的偏振片。再利用第二个固定位置的偏振片来测得输出光束的偏振态。另外一些仪器是固定起偏器和检偏器，而在中间部分调制偏振光的状态，如利用声光晶体等，最终得到输出光束的偏振态。这些不同的配置的最终结果都是测量作为波长和入射角复函数ρ。

 

　　在选择合适的多波段椭偏仪时候，光谱范围和测量速度也是一个通常需要考虑的重要因素。可选的光谱范围从深紫外的142nm到红外的33microm。光谱范围的选择通常由应用决定。不同的光谱范围能够提供关于材料的不同信息，合适的仪器必须和所要测量的光谱范围匹配。

 

　　测量速度通常由所选择的分光仪器来决定。单色仪用来选择单一的、窄带的波长，通过移动单色仪内的光学设备，单色仪可以选择感兴趣的波长。这种方式波长比较准确，但速度比较慢，因为每次只能测试一个波长。如果单色仪放置在样品前，有一个优点是明显减少了到达样品的入射光的量。另外一种测量的方式是同时测量整个光谱范围，将复合光束的波长展开，利用探测器阵列来检测各个不同的波长信号。在需要快速测量的时候，通常是用这种方式。傅立叶变换分光计也能同时测量整个光谱，但通常只需一个探测器，而不用阵列，这种方法在红外光谱范围应用最为广泛。