光学轮廓仪是一款便捷的、精确的、实用的非接触三维形貌测量系统。它建立在移相干涉测量（PSI）、白光垂直扫描干涉测量（VSI）和单色光垂直扫描干涉测量（CSI）)等技术的基础上，以其纳米级测量准确度和重复性（稳定性）定量地反映出被测件的表面粗糙度、表面轮廓、台阶高度、关键部位的尺寸及其形貌特征等。广泛应用于集成电路制造、MEMS、航空航天、精密加工、表面工程技术、材料、太阳能电池技术等领域。
在发展初期，光学轮廓仪主要采用传统的光学成像技术，通过镜头和传感器来获取物体的轮廓信息。随着数字成像技术的发展，现代光学轮廓仪开始广泛应用高分辨率CCD或CMOS传感器，并结合数字信号处理和计算机视觉算法，实现对物体轮廓的高精度测量和分析。
同时，随着激光技术和光学干涉技术的进步，光学轮廓仪也逐渐引入了激光投影和相位差测量等高精度技术，提高了测量的精度和准确性。此外，一些光学轮廓仪还结合了自动对焦、自动扫描等功能，使得测量更加便捷和高效。
目前，光学轮廓仪具有许多和大型机台一样的优点，包括：测量设置简单易学，高速数据采集能力，强大的数据分析能力以及0.1纳米量级的测试重复精度。可选配自动样品台使仪器实现程序化。
光学轮廓仪的量测性能与其它同类产品相当，但其较小的尺寸及灵活的配置为用户将来的发展提供了基础。系统包含了完整版的Vision分析软件，该软件是行业内功能较全的分析软件，可实现二维和三维的数据分析及可视化功能。Vision软件为用户提供了200余种分析工具，包括自动测序功能、数据记录和实时反馈及统计控制过程的合格/不合格标准。用户采用可选的软件包还可以定制专门的数据分析用户界面。
产品优势有以下7点：
1、Nikon干涉物镜；
2、TMC光学隔振台；
3、PI纳米移动平台及控制系统；
4、NI信号控制板和Labview64 控制软件；
5、美国硅谷研发的合心技术和系统软件；
6、关键硬件采用美国、德国、日本等品牌；
7、测量准确度重复性达到先进水平（中国计量科学研究院证书）。
光学轮廓仪是一种用于测量物体表面轮廓的精密仪器。它利用光的干涉原理，通过对物体表面的光学扫描，生成物体表面的三维图像，从而实现对物体表面纹理、形状、尺寸等参数的精确测量。这种仪器主要应用于微电子、精密机械、光学元件、材料科学等领域。
未来，随着人工智能和机器学习的发展，光学轮廓仪还将进一步提升智能化水平，实现对图像数据的智能分析和处理，为工业生产、质量检测等领域提供更加精准和可靠的轮廓测量解决方案。
欢迎来到岱美仪器技术服务（上海）有限公司网站！
网站首页
