三维形貌仪是一款光学表面形貌仪,非常适合对表面几何形状和表面纹理分析，以标准方案或定制性方案对二维形貌或三维形貌表面形貌和表面纹理，微米和纳米形状，圆盘，圆度，球度，台阶高度，距离，面积，角度和体积进行多范围测量。
三维形貌仪是采用先进的白光干涉扫描技术研制的纳米量级形貌测量仪器，透过精密的扫描系统和解析算法，进行样品表面微细形貌的量测与分析。表面显微成像能力与高精度测量的结合，只需数秒钟，就能观测到表面的三维轮廓、台阶高度、表面纹理、微观尺寸以及包含各类参数的测量结果。
标准配置采用六轴手动调整的载物平台，可依据不同测试要求做弹性调整，并可选配电动载物平台，以实现自动定位、自动聚焦、自动缝合之大面积高精度的量测要求，样品均不需前处理即可进行非破坏、高精度、快速的表面形貌测量和分析。
系统采用气浮式隔振模块、坚固的花岗岩和钢结构支撑，具有出色的稳定性。测量过程简便而快速，只需把被测物体放置到载物台，聚焦出干涉条纹，按下测量按钮即可开始整个测量过程。
三维形貌仪工作原理
它是利用光学干涉原理研制开发的超精密表面轮廓测量仪器。照明光束经半反半透分光镜分成两束光，分别投射到样品表面和参考镜表面。从两个表面反射的两束光再次通过分光镜后合成一束光，并由成像系统在CCD相机感光面形成两个叠加的像。由于两束光相互干涉，在CCD相机感光面会观察到明暗相间的干涉条纹。干涉条纹的亮度取决于两束光的光程差，根据白光干涉条纹明暗度以及干涉条文出现的位置解析出被测样品的相对高度。
三维形貌仪能够在同一测试平台上运行多种测试，只需单击按钮，就能转换成像模式。这种组合可以轻松地对任何表面进行成像如透明、平坦、黑暗、扁平、弯曲的表面等。每种成像模式都具有各自的优势，并且各项技术彼此互补。该项整合技术不仅有利于数据的综合分析，也可以减少维护成本，从而提高效率。
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