白光干涉仪是目前三维形貌测量领域精度最高的检测仪器之一。在同等放大倍率下，测量精度和重复性都高于共聚焦显微镜和聚焦成像显微镜。在一些纳米或者亚纳米级别的超高精度加工领域，除了白光干涉仪，其它仪器达不到检测的精度要求。
原理：
它是利用干涉原理测量光程之差从而测定有关物理量的光学仪器。两束相干光间光程差的任何变化会非常灵敏地导致干涉条纹的移动，而某一束相干光的光程变化是由它所通过的几何路程或介质折射率的变化引起，所以通过干涉条纹的移动变化可测量几何长度或折射率的微小改变量，从而测得与此有关的其他物理量。测量精度决定于测量光程差的精度，干涉条纹每移动一个条纹间距，光程差就改变一个波长（～10-7米），所以干涉仪是以光波波长为单位测量光程差的，其测量精度之高是任何其他测量方法所不能相比的。
白光干涉仪与台阶仪相比具有以下优点：
1、是非接触高精密测量，不会划伤甚至破坏工件；
2、是测量速度快，不必像探头逐点进行测量；
3、是不必作探头半径补正，光点位置就是工件表面测量的位置；
4、是对高深宽比的沟槽结构，可以快速而精确的得到理想的测量结果。随着白光干涉测量技术的发展和完善，白光干涉测量仪器已经得到了广泛的应用。在微电子、微机械、微光学等领域，白光干涉测量仪器可以提供更高精度的检测需求。
