随着纳米技术的进步和薄膜工艺的发展(太阳能电池，CVD，PVD，DLC，MEMS等)，纳米力学测试已成为标准方法。这种方法改进了传统硬度测试的不足，通过J尖的压划头，高的空间分辨率和较精确的原位载荷-位移数据，可以较精确测量小载荷和浅压痕条件下的材料力学测试。
纳米压痕- 单一/多次压痕，根据ISO14577测量薄膜、涂层和块体材料的硬度，杨氏模量，拉伸和von Mises应力，接触刚度等。
纳米划痕- 采用恒定、渐进和用户自定义可编程加载方式，评价薄膜、涂层和块体材料的划痕硬度和划痕附着力。
纳米压痕仪主要用于测量纳米尺度的硬度与弹性模量，可以用于研究或测试薄膜等纳米材料的接触刚度、蠕变、弹性功、塑性功、断裂韧性、应力-应变曲线、疲劳、存储模量及损耗模量等特性。
还同时具备了纳米测试系统所具有的丰富的测量模式，如恒应变速率加载、视频定位压入、冲击模式等。通过纳米力学平台的设计，客户可以选择其它丰富的选件构建全套的纳米力学综合测试系统。如AFM原子力显微镜同步成像、微米压痕模块、微米或纳米划痕模块、微纳米摩擦磨损模块、变温、湿度控制、真空环境等等。
纳米压痕仪可适用于有机或无机、软质或硬质材料的检测分析，包括PVD、CVD、PECVD薄膜，感光薄膜，彩绘釉漆，光学薄膜，微电子镀膜，保护性薄膜，装饰性薄膜等等。基体可以为软质或硬质材料，包括金属、合金、半导体、玻璃、矿物和有机材料等。
