椭圆偏振仪常用的光学元件有以下5种

　　椭圆偏振仪是一种用于探测薄膜厚度、光学常数以及材料微结构的光学测量设备。由于并不与样品接触，对样品没有破坏且不需要真空。可测的材料包括：半导体、电介质、聚合物、有机物、金属、多层膜物质。可以应用于半导体、通讯、数据存储、光学镀膜、平板显示器、科研、生物、医药等领域。

 

　　椭圆偏振仪的结构：

　　本产品常用的光学元件有下列几种：

　　1、光源：椭圆偏振仪的理想光源是强度稳定，从紫外到近红外整个波长范围内输出近似为常数，目前大多选用Xe或Hg-Xe灯是比较合理的，但是它在UV强度较弱，而在880~1010nm具有很强的原子辐射谱线。也有采用激光作为光源，进行单色椭偏测量。

　　2、偏振器件：偏振器是椭圆偏振仪重要的光学元件，理想的偏振器只能传递在一个方向偏振的光，而不能传递任何沿着它垂直方向偏振的光。偏振器能将任何偏振态的光变成线偏振光并定向于传输轴。格兰泰勒偏振器射出光的偏振度达到百万分之一，波长范围为230~2200nm。

　　3、补偿器：亦是延滞器，它可以精确地作90°的延滞。补偿器可以由反折射薄片或抛光的斜方形晶体构成。该元件的精确延滞与光学调整和所用光的波长有关。有的椭偏测量系统利用能将线偏振光变成园偏振光的补偿器。特殊情况下，补偿器能简单地在两垂直的线偏振器之间引入位相延滞。旋转补偿器与旋转偏振器相结合能将非偏振光变成椭圆偏振光。

　　4、光束调制器：通常有几种，一种是机械调制器，可以实现光束强度简谐地调制为了随后的同步探测；另一种是电光或磁光调制器，用于光束强度或偏振态的简谐扰动为了随后的同步探测，这种调制器一般难以标定和维护，对温度敏感并且相当昂贵。现在还有一种光弹型调制器用于本产品中。

　　5、探测器：通常用于探测器有三种，即光电倍增管、硅光电池和InGaAs，前者对偏振态敏感，后两种则不敏感，并且在很宽范围内对光束强度具有线性响应。此外，也有采用硅光二极管列阵作为探测器的。