系统可以为各种材质薄膜提供高精度的厚度均匀性测量。使用创新的融合光谱反射技术、近红外干涉技术以及高亮度光源驱动的光谱椭偏仪技术的多传感器融合测量技术，是国内可以实现同质膜厚全自动检测的系统。

QuickOCT-4D™ 将单点可见光光谱域光学相干断层扫描 （SD-OCT） 传感器与高速纳米编码的 X/Y/Z 运动控制平台相结合，可以在高达 66 kHz 的单次测量中捕获透明薄膜样品中每层的平面。QuickOCT-4D™ 穿透深度（高达 100μm）和轴向分辨率 （5nm） 针对半导体、生命科学和制药行业的多层透明薄膜、平面基板和功能层的测量进行了优化。

硬化涂层膜厚仪是一款快速、准确测量薄膜表征应用的模块化解决方案，要求的光斑尺寸小到几个微米，如微图案表面，粗糙表面及许多其他表面。

Thetametrisis膜厚测量仪FR-pRo是一个模块化和可扩展平台的光学测量设备，用于表征厚度范围为1nm-1mm 的涂层。

光学厚度测量仪的光学模块可容纳所有光学部件：分光计、复合光源(寿命10000小时)、高精度反射探头。因此，在准确性、重现性和长期稳定性方面保证了优异的性能。

FR-InLine 是一款模块化可扩展的在线薄膜厚度测量仪（膜厚仪），可进行在线非接触测量 3nm-1mm 厚度范围内的涂层。 FR-InLine 膜厚仪并可以依据各种不同应用设置多个参数的实时测量，例如：反射率和透射率光谱、厚度、色座标。 FR-InLine 膜厚仪测量软件可以在标准 Windws 10/11 中执行。