非接触式电阻测试可保证被测试材料的实际薄膜电阻值偏差不超过 3%。以下图表所展示的是根据 10 NIST、VLSI 和 MSA 标准测试的 Delcom 计量器。

薄膜电阻测试用户可以直接在材料上绘制网格图形，或者将材料放入一个塑料信封并在信封上绘制网格图形。然后用户根据这些网格线递增材料。