QuickPRO-3D--表面轮廓仪

简要描述：适用于光学、工业和半导体市场的高速、中精度、经济实惠的表面轮廓仪，纳米分辨率彩色共聚焦传感器（可配制点和线传感器），为在线过程测量和控制而设计，结构紧凑，易于上下片和操作，可配制成独立系统（X/Y/Z）和附加升级至LAS （C/R/Z），多种样品处理能力

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详细介绍

•适用于光学、工业和半导体市场的高速、中精度、经济实惠的表面轮廓仪

•纳米分辨率彩色共聚焦传感器（可配制点和线传感器）

•为在线过程测量和控制而设计

•结构紧凑，易于上下片和操作

•可配制成独立系统（X/Y/Z）和附加升级至LAS （C/R/Z）

•多种样品处理能力

–单一数控加工的非球面透镜（ ø可达100mm）

–托盘中的小型模塑透镜

–自由曲面光学器件（无旋转对称）半导体，MEMs，LED，OLED，光子晶圆

特点：

•可在纳米分辨率下测量大的台阶高度（>1mm）

•适用于较大和较重的零件、不规则几何形状

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