FilmSense多波段椭偏仪

第 3 代 Film Sense 多波长椭偏仪系统现已上市！这一代的主要改进是电动源偏振器，它支持自动校准和区域平均测量。新系统具有与获得zhuan利的* FS-1 椭偏仪技术相同的优点（长寿命 LED 光源、快速可靠的无移动部件探测器、紧凑型设计和网络浏览器软件界面），同时保持易用性和经济性。Film Sense 多波长椭圆仪是原位实时监测和控制薄膜沉积和蚀刻过程的理想选择。通过原位椭圆偏振仪测量实时观察和表征过程的能力对于诊断工艺室中的问题和提高工艺开发的效率非常有益。

FS-1 波长

FS-1 紧凑型封装椭偏仪
4 个波长，450 – 660 nm 光谱范围（替代原来的 FS-1）
测量 0 – 2 μm 厚度范围内的单层透明薄膜的良好选择，精度低至 0.0004 nm
美国zhuan利#9,354,118

FS-1EX™（第 3 代）椭偏仪
   6 个波长，405 – 950 nm 光谱范围
   2 个较长的波长（850 和 950 nm）能够测量较厚的透明薄膜（高达 5 μm）和吸收半导体薄膜（如多晶硅、SiGe、非晶硅等）
   薄膜电阻率测量（使用 Drude 模型）也通过 2 个更长的波长得到改进。

   6 个波长和更宽的光谱范围为多层薄膜堆叠提供增强的测量能力

标准异地配置

   65° 入射角。
   手动样品加载和高度调整。
   样品尺寸可达 200 毫米直径。和 20 毫米的厚度。
   +/-2° 范围内的样品倾斜。
   样品上的光束尺寸：4 x 9 mm。
   占地面积小 (180 x 400 mm)，重量轻 (5 kg)。

在线机型特征

功能：

-亚单层厚度精度

-在多种工艺条件下确定薄膜光学常数 n&k 和沉积速率，无需破坏真空

-监测和控制多层膜结构的沉积

-用于外部软件控制的FS-API接口（兼容LabVIEW™）

-适用于大多数薄膜沉积和蚀刻技术：溅射、ALD、ALE、MBE、CVD、PLD等。

FS-1安装在AJA溅射室上

特点：

-系统无需外部电子盒或光纤连接

-LED光源和无移动部件检测器，运行可靠，测量速度快

-紧凑轻便的源和检测器单元（每个 <1 kg）

-可选适配器，用于安装到标准 2.75“ 或 1.33" 平压法兰上，具有易于调节的粗倾和精倾台

-强大的软件功能，用于可视化和分析动态椭圆测量数据

FS-1安装在Kurt Lesker ALD腔室上

第 3 代通用规格

紧凑型光学元件：光源 142 x 80 x 60 毫米，探测器 110 x 80 x 60 毫米

简单连接：+5V 墙上插头电源、以太网和源检测器链接电缆
电动源偏振器：
    – 提供自动仪器校准
    – 实现区域平均测量，以提高测量精度

强度提高 4 倍（与原始 FS-1 相比）和更新的检测器电子设备提供更高的测量精度：非原位 2 倍，原位 4 倍

照片和数据由美国研究实验室提供

自动化测绘系统

这些产品将FS-1EX多波长椭偏仪与紧凑型自动测绘平台相结合，可在晶圆片上提供快速、准确、可靠的薄膜厚度均匀性测量。

特点与规格

-6个波长的椭偏数据（405，450，525，660，850，950nm）具有长寿命 LED光源，无运动部件的探测器

-0-5um范国内大多数透明薄膜的精确厚度测量

-典型厚度重复性:0.002nm

-集成聚焦探头，标准光斑尺寸:0.8x1.9毫米(可提供其他光斑尺寸)

-USB摄像头选项可用

-用于样品自动对准的电动Z台

-灵活的扫描棋式编辑器

-轮廓和三维测量参数图

FS-XY150

-绘制晶片图的典型时间:2分钟(在直径 150毫米的晶片上取 49个点)

-紧凑的占地面积:600x600mm，16kg

-载物台行程(X，Y):150X150mm，分辨率:5um

                                                                                    FS-XY150

FS-RT300

-绘制品片图的典型时间:2.5分钟(在 300mm直径的晶片上取 49个点)

-紧凑的占地面积:400x500mm，22kg

-载物台行程:R(线性)150mm，分辨率:12um   Theta(旋转)360°，分辨率:0.1°

                            FS-RT300