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接近式光刻机的使用原理及性能指标
2024-09-09

大家也许还不是非常的清楚,光刻机的种类有非常的多,其中的技术原理也不尽相同,下面就由我来给大家简单介绍一下有关接近式光刻机的使用原理及性能指标。接近式光刻机的使用原理:其实在我国对于接近式光刻机,曝光时掩模压在光刻胶的衬底晶片上,其主要优点...

  • 2023-06-08

    1.简介光学光刻(Opticallithography),也称为光学平版印刷术或紫外光刻,是在其他处理步骤(例如沉积,蚀刻,掺杂)之前用光刻胶对掩模和样品进行构图的方法。2.设备(接近式光刻机)2.1HMDS及涂胶1)标准旋转工艺中包括HMDS蒸汽预处理2)烤箱-批量处理多个晶圆3)HMDS也可以在手动旋转器上旋转涂布4)涂胶机上进行光刻胶的涂布2.2对准接触光刻1)光刻前的对准2)对准器——处理具有对准图形的晶圆3)EVG610等掩模对准机——尺寸从碎片到12”晶圆4)曝光...

  • 2023-06-07

    电容式位移传感器是一种常用的测量装置,可以实时监测物体的位置、形态和运动状态等。但是,在使用电容式位移传感器时,也存在一些需要注意的问题,以下为详细介绍:1.静电干扰:电容式位移传感器对静电干扰比较敏感,在使用时应尽可能减少或避免静电干扰。特别是在干燥环境下,静电干扰更加严重,会造成误差的产生。2.灵敏度:本产品的灵敏度较高,因此需要进行相应的校准,以确保其精度和可靠性。校准时应注意传感器与被测对象之间的距离、介质、温度等因素的影响。3.温度漂移:温度变化会导致产品本身的参数...

  • 2023-06-05

    粗糙度测定仪的应用表面质量的特性是零件非常重要的特性之一,在计量科学中表面质量的检测具有重要的地位。以前人们是用标准样件或样块,通过肉眼观察或用手触摸,对表面粗糙度做出定性的综合评定。目前粗糙度仪主要涉及的行业领域有:一、非金属加工制造业,随着科技的进步与发展,越来越多的新型材料应用到加工工艺上,如陶瓷、塑料、聚乙烯,等等,现在有些轴承就是用特殊陶瓷材料加工制作的,还有泵阀等是利用聚乙烯材料加工制成的。这些材料质地坚硬,某些应用可以替代金属材料制作工件,在生产加工过程中也需要...

  • 2023-06-02

    电容式位移传感器是一种常用的非接触式测量设备,用于测量物体的位移、压力、形变等参数。它主要由电容传感器和测量电路组成。目前,电容式位移传感器在工业自动化控制、机械加工、汽车行业等领域得到了广泛应用。它可以测量各种类型的位移、形变、压力和负载等参数,并且具有高精度、高稳定性和长寿命等特点。例如,在机械加工中,它可用于检测机床、刀具、工件等物体的运动状态和变形情况,从而实现精密加工。在汽车行业中,它可以用于测量刹车踏板的位置,以及轮胎和悬挂系统的位移等参数。其工作原理:电容式位移...

  • 2023-05-29

    几家著名的增强现实(AR)公司联合起来,加速消费级AR可穿戴设备的发展。SCHOTT,Inkron,EVGroup(EVG)和WaveOptics展示了全球shou个在玻璃基板上制成的折射率为1.9的波导,以及相匹配的纳米结构聚合物——在300毫米晶圆平台上生产,且可进行批量生产。SCHOTT是国际领仙的科技集团和光学玻璃的发明者,现推出SCHOTTRealView™高折射率玻璃晶圆,其折射率为1.9,直径为300mm。这些晶圆是批量生产下一代AR波导的基础,不仅...

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