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SEMI-e第六届深圳国际半导体展2024年6月26日,SEMI-e第六届深圳国际半导体展在深圳国际会展中心开幕。本届展会特设三馆六大区,汇聚815家展商,开展首日人气爆棚。岱美中国作为先进半导体设备分销商,非常荣幸参与本次展会。本场展会汇...
微波等离子清洗是一种利用微波辐射和等离子体技术进行清洗的方法。在微波等离子清洗过程中,通过微波辐射产生的高频电磁场在气体中产生等离子体,形成高温、高压、高能量的等离子体气体环境。在等离子体环境中,离子和电子之间的碰撞会产生高温和高能量,从而使污垢或附着在物体表面的有机物、无机物或表面氧化物等物质发生化学反应,分解成易挥发的气体或溶解于水中被清洗掉。这种清洗方法具有高效、环保、不损伤材料表面等优点。在微波等离子清洗过程中,清洗剂被微波激发生成等离子体,它包含大量的高能量粒子,这...
用过膜厚测试仪的人可能都知道,它可以分为手持式和台式二种,手持式又有磁感应镀层测厚仪,电涡流镀层测厚仪,荧光X射线仪镀层测厚仪。那么他们都采用了什么样的原理来实现测量目的的呢?今天就通过三个典型的型号案例来详细展开讲一讲原理和适用范围的事情。我们先要明确一点,不同膜厚仪测量原理是有区别的,其适用范围也会有差异,主要的就是以下3种,岱美仪器小编给大家详细介绍下:1、涡流法检测法原理:涡流膜厚仪工作原理:利用涡流法检测法,能够检测金属表面的氧化膜、漆膜或电镀膜等膜的厚度;但是,金...
便携式光学膜厚仪是利用反射干涉的原理进行无损测量,可测量薄膜厚度及光学常数。测量精度达到埃级的分辩率,测量迅速,操作简单,界面友好,是具性价比的膜厚测量仪设备。设备光谱测量范围从近红外到紫外线,凡是光滑的,透明或半透明的和所有半导体膜层都可以测量。本仪器是使用白光干涉的原理,从而对样品表面的膜层进行测量,基本上所有光滑的、半透明的或者地吸收洗漱的薄膜都可以进行测量。主要应用:光学镀层行业如:硬涂层,抗反射层等涂层厚度测量;生物医学行业如:聚对二甲苯,YL器械等领域可透光涂层膜...
直接键合设备是一种自动化的单腔室生产键合机,设计用于中试线生产以及用于晶圆级封装,3D互连和MEMS应用的大批量生产的研发。它是基于模块化设计,为我们未来的晶圆键合工艺从研发到大规模生产的全集成生产键合系统过渡提供了可靠的解决方案。应用:薄晶圆临时键合解键合,将已经键合的材料从载板上剥离。应用于TSV,储存器,CMOS,功率器件等的加工过程。产品特性:1、高温度、高压力、高真空选项,满足各种键合工艺参数;2、精度温度控制;3、精度压力控制;4、适用于超厚晶圆;5、压盘自调节设...
白光干涉仪能够在同一测试平台上运行多种测试,产品的组合可根据不同的技术应用要求而改变。针对样品的同一区域可进行不同模式的实验检测,模式切换可实现全自动化。多项技术的整合能够使不同技术在同一检测仪上充分发挥各自的优势。该项整合技术不仅有利于数据的综合分析,也可以减少维护成本,从而提高效率。白光干涉仪工作原理:白光干涉仪是利用光学干涉原理研制开发的超精细表面轮廓测量仪器。照明光束经半反半透分光镜分成两束光,分别投射到样品表面和参考镜表面。从两个表面反射的两束光再次通过分光镜后合成...