EV集团（EVG，岱美仪器供应商）是面向MEMS，纳米技术和半导体市场的晶圆键合和光刻设备的领仙供应商，今天宣布已收到东京大学的EVG810LT等离子活化订单化合物半导体研究系统。EVG810LT安装在大学的Takagi＆Takenaka实验室，增强了实验室的研究重点，该研究致力于使用绝缘体III-V（III-V-OI）和绝缘体锗开发新颖的MOSFET和电子光子集成电路（EPIC）（GeOI）基板。这些先进的材料衬底旨在超越常规硅半导体和硅光子学的性能，在这些衬底中，III-...

微波等离子清洗是用等离子体通过化学或物理作用对工件表面进行分子水平处理，去除沾污，改善表面性能的工艺过程。对应不同的污染物，应采用不同的清洗工艺。根据选择的工艺气体不同，分为化学清洗、物理清洗及物理化学清洗。目前有四种激励电源频率，分别是直流、低频40KHz、射频13.56MHz及本文介绍的微波2.45GHz。在材料焊接或者塑封或者点胶前，通过微波等离子清洗机，可以改善表面张力，使焊点材料间充分接触，也能改善灌胶时胶质材料在狭小缝隙中的流动，避免空泡产生。通过微波等离子清洗机...

1.介绍对电子设备性能和灵活性的新要求正在使制造基础架构从传统的基于掩模的光刻技术转变为用于高级封装和异构集成的数字光刻技术。片上系统正在从单片解决方案转向封装，小芯片和功能块中的模块化系统。因此，对于可扩展和通用后端光刻的需求不断增长，以实现封装和系统级的互连。为了满足这一新的行业愿景，需要能够通过高级封装快速集成新颖功能元素的大规模生产新工具。大批量制造（HVM）行业必须超越保守的芯片图案设计，并进入数字光刻技术的新时代。岱美仪器代理的厂家EVGroup最近新开发了MLE...

一、玻璃表面应力仪是用于测量化学强化和物理强化玻璃的表面应力，通过让光沿着玻璃表面传播，根据光弹性技术测出其表面的应力以及应力层深度。本机带有电脑，能够减少测量者的误差也更便于测量数据的管理。仪器使用操作方便，既简短了测量过程所需时间，又对玻璃生产过程进行及时监控，机器很好的分析化学钢化玻璃的表面应力情况，进而判断产品的钢化程度。二、度盘应力仪是用来测定透明物体由于内应力而产生的双折射现象的仪器，它具有定量和定性两种功能，操作简单方便，非常适用于工业应用。这种应力(双折射)的...

光学形貌仪可以用于测量表面形貌或测量表面轮廓外，表面形貌仪具有测量晶圆翘曲度的功能，非常适合晶圆，太阳能电池和玻璃面板的翘曲度测量，应变测量以及表面形貌测量。应用领域：1、用于太阳能电池测量；2、用于半导体晶圆测量；3、用于机械部件的计量；4、用于镀膜玻璃的平整度（Flatness）测量；5、用于塑料，金属和其他复合型材料工件的测量。产品特色：1、除了表面形貌的测量，还可以测量张量和应力（简单）；2、可测量晶圆的尺寸为0.5''到12'',可达45x45cm的尺寸，对于小于0...