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晶圆表面缺陷检测系统中的切割槽深度与宽度检测技术
2024-12-18

在半导体制造业中,晶圆作为芯片的基础材料,其表面质量直接决定了最终产品的性能和可靠性。随着技术的不断进步,晶圆表面缺陷检测系统已成为确保产品质量的关键环节。其中,切割槽的深度与宽度检测是评估晶圆加工精度和完整性的一项重要指标。切割槽是在晶圆...

  • 2024-10-10

    在电子制造和材料科学领域,去胶技术是一个至关重要的环节。随着科技的进步,等离子去胶和微波去胶作为两种常见的去胶方法,各自具备特殊的优势与适用性。本文将探讨这两种技术的基本原理、优缺点及其在实际应用中的区别。一、基本原理1.等离子去胶:利用等离子体的化学活性来去除材料表面的胶粘剂。在这一过程中,气体(通常是氩气、氧气或氮气)被电离形成等离子体,产生高能粒子和自由基。这些高能粒子能够与胶粘剂分子发生反应,使其降解并有效去除。这种方法通常在低温条件下进行,因此对热敏感材料的影响较小...

  • 2024-10-09

    电容式位移传感器是一种基于电容原理工作的精密测量仪器,广泛应用于各种工业领域,如振动监测、距离测量、液位检测等。由于其高精度和快速响应的特点,电容式位移传感器在校准过程中需要特别细致和精确。以下是关于电容式位移传感器的校准方式的描述:一、校准前的准备工作1.了解传感器规格:在开始校准之前,首先需要详细了解电容式位移传感器的技术规格,包括测量范围、灵敏度、线性度、重复性等关键参数。这些信息将有助于确定校准的具体步骤和方法。2.准备标准器具:为了进行准确的校准,需要准备一些高精度...

  • 2024-09-09

    大家也许还不是非常的清楚,光刻机的种类有非常的多,其中的技术原理也不尽相同,下面就由我来给大家简单介绍一下有关接近式光刻机的使用原理及性能指标。接近式光刻机的使用原理:其实在我国对于接近式光刻机,曝光时掩模压在光刻胶的衬底晶片上,其主要优点是可以使用价格较低的设备制造出较小的特征尺寸。我们也许不知道接触式光刻和深亚微米光源已经达到了小于0.1gm的特征尺寸,常用的光源分辨率为0.5gm左右。该光刻机的掩模版包括了要复制到衬底上的所有芯片阵列图形。在衬底上涂上光刻胶,并被安装到...

  • 2024-09-04

    光学粗糙度测试仪是一种用于测量材料表面粗糙度的精密仪器,其准确性和稳定性对于保障产品质量至关重要。以下是关于光学粗糙度测试仪养护方式的相关描述:1.环境要求:光学粗糙度测试仪应放置在无尘、恒温恒湿的环境中。温度和湿度的波动会影响仪器的测量精度,因此应尽量保持环境的稳定。此外,仪器应远离振动源和磁场,以防止对测量结果的干扰。2.清洁维护:定期对仪器进行清洁,特别是在测量过程中可能会有灰尘或杂质附着在仪器的关键部件上。使用无尘布或专用清洁工具,轻轻擦拭仪器的表面和镜头,以保持其清...

  • 2024-08-27

    红外激光测厚仪是一种高精度、非接触的测量工具,广泛应用于工业生产和材料测试中。它通过发射激光束并测量激光反射时间来确定物体的厚度。本文将详细探讨如何优化红外激光测厚仪的使用方法,以提高测量的准确性和可靠性。首先,了解仪器的基本原理和操作是至关重要的。该设备利用激光光束穿透目标物体,通过计算光束反射回来的时间差来测量物体的厚度。为了确保测量精度,设备的对准和校准必须做到位。在开始使用前,应根据制造商提供的操作手册进行设备的基本校准,确保其能够提供准确的数据。其次,选择合适的测量...

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