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在半导体制造业中,晶圆作为芯片的基础材料,其表面质量直接决定了最终产品的性能和可靠性。随着技术的不断进步,晶圆表面缺陷检测系统已成为确保产品质量的关键环节。其中,切割槽的深度与宽度检测是评估晶圆加工精度和完整性的一项重要指标。切割槽是在晶圆...
红外测厚仪利用红外光穿透物质时的吸收、反射、散射等效应实现非接触式测量薄膜类材料的厚度,对水含量、涂布量、薄膜和热熔胶的厚度有着十分重要的意义。红外测厚仪有效地改善了工作环境,具有测量准确、精度高、实用性好、安全可靠、非接触式测量等优点,并为涂胶池、造纸工序厚度控制提供了准确的信息,从而提高了生产效率和产品质量,降低了劳动强度。红外测厚仪测量的注意事项:1、在进行测试的时候要注意标准片集体的金属磁性和表面粗糙度应当与试件相似。2、测量时侧头与试样表面保持垂直。3、测量时要注意...
翘曲度,用于表述平面在空间中的弯曲程度,在数值上被定义为翘曲平面在高度方向上距离最远的两点间的距离。绝对平面的翘曲度为0。翘曲变形是评定产品质量的重要指标之一。对于相同翘曲影响模式的同一产品时,这些指标可以描述不同设计的翘曲变形的大小程度。但对于不同材料、模具结构等造成翘曲变形的影响模式改变的因素,不同设计下各部分的翘曲变形严重程度也随之改变。美国FSM高温薄膜应力及翘曲度测量仪具有哪些特殊功能?1、多重导向销设计,手动装载样品,有优异的重复性与再现性研究。2、优异的分辨率—...
轮廓仪,是一种常用的测量工具,用于精确复制和测量不规则物体的轮廓形状。它广泛应用于木工、金属加工、装修和模具制造等领域。本文将详细介绍轮廓仪的使用方法和注意事项,以帮助读者更好地掌握这一实用工具。一、轮廓仪的使用方法1.准备工作:在使用仪器之前,确保物体表面干净,无尘和杂质,以免影响测量结果。2.调节高度:根据待测物体的高度,通过旋钮将基座调节到合适的高度,使针头能够接触到物体表面。3.复制轮廓:将仪器平放在待测物体上,确保针头接触物体表面,并轻轻滑动仪器,使针头按照物体曲线...
椭偏仪通过测量光在介质表面反射前后偏振态变化,获得材料的光学常数和结构信息,具有测量精度高、非接触、无破坏且不需要真空等优点。椭偏仪的选购指南:1、根据研究或测试的材料特性来确定光谱范围,进一步选择适合光源的椭偏仪。对于透明材料,考虑关心的折射率光谱区域;对于短波吸收、长波透明材料,如果关心吸收区域折射率及膜厚可扩展到红外透明区域来先确定薄膜厚度,然后求解折射率。2、入射角方式选择。椭偏仪多角度测量可以增加可靠性,但不是总有必要。多角度Z适用于以下几种场合:多层膜结构、吸收膜...
椭偏仪/椭圆偏振仪是一种用于探测薄膜厚度、光学常数以及材料微结构的光学测量仪器。现在已被广泛应用于材料、物理、化学、生物、医药等领域的研究、开发和制造过程中。基本原理:椭偏仪的原理主要依赖于光的偏振现象。当光线通过某些物质时,其偏振状态会发生变化。椭偏仪利用这一特性,通过精确控制入射光的偏振态,并测量经过样品后光的偏振态变化,进而分析样品的性质。椭偏法测量具有如下特点:1.能测量很薄的膜(1nm),且精度很高,比干涉法高1-2个数量级。2.是一种无损测量,不必特别制备样品,也...