Filmetrics3D光学轮廓仪是用于对各种精密器件表面进行纳米级测量的仪器，它是以白光干涉技术为原理，光源发出的光经过扩束准直后经分光棱镜后分成两束，一束经被测表面反射回来，另外一束光经参考镜反射，两束反射光最终汇聚并发生干涉，显微镜将被测表面的形貌特征转化为干涉条纹信号，通过测量干涉条纹的变化来测量表面三维形貌。Filmetrics3D光学轮廓仪具有3倍於于其成本仪器的次纳米级垂直分辨率，Profilm3D同样使用了现今高分辨率之光学轮廓仪的测量技术包含垂直扫描干涉（V...

硅片电阻率测试模组是一款测量圆柱晶体硅电阻率测试仪器，可测量硅芯，检磷棒，检硼棒，籽晶等，由于仪器大大消除了珀尔帖效应、塞贝克效应、少子注入效应等负效应的影响，因此测试精度大大提高，量程实现了电阻率从10-4欧姆.厘米到10+4欧姆.厘米（可扩展）的测试范围。因此仪器具有测量精度高、稳定性好、测量范围广、结构紧凑、使用方便等特点。是西门子法、硅烷法等工艺生产原生多晶硅料的企业、物理提纯生产多晶硅料生产企业、光伏及半导体材料厂、器件厂、科研部门、高等院校以及需要超大量程测试电阻...

纳米压印机具有紫外线纳米压印功能的通用研发掩膜对准系统，支持尺寸从碎片到最大150毫米。该工具支持多种标准光刻工艺，例如真空，软，硬和接近曝光模式，并可选择背面对准。此外，该系统还为多功能配置提供了附加功能，包括键对准和纳米压印光刻。纳米压印机提供快速的处理和重新安装工具，以改变用户需求，光刻和NIL之间的转换时间仅为几分钟。其先进的多用户概念可以适应从初学者到专家级别的所有需求，因此使其成为大学和研发应用程序的理想选择。对于压印工艺，本产品允许基板的尺寸从小芯片尺寸到直径1...

红外激光测厚仪一般是由两个激光位移传感器上下对射的方式组成的，上下的两个传感器分别测量被测体上表面的位置和下表面的位置，通过计算得到被测体的厚度。本产品的优点在于它采用的是非接触的测量，相对接触式测厚仪更精准，不会因为磨损而损失精度。相对超声波测厚仪精度更高。相对X射线测厚仪没有辐射污染。测厚原理：两个激光位移传感器的激光对射，被测体放置在对射区域内，根据测量被测体上表面和下表面的距离，计算出被测体的厚度。红外激光测厚仪的基本组成是激光器、成像物镜、光电位敏接收器、信号处理机...

主动减震台是一款轻量的落地式隔振系统，轻量化的架构设计使得安装和移动十分便捷。采用进口非压电式专用技术，无限制反馈传感器结合钢制弹簧和气囊高度耦合的被动基础带来0.5-100赫兹的超宽隔振频域，可应对高加速度下的振动冲击。主动减震台是一款紧凑型、模块化的六自由度隔振系统，用于抵消工作环境对灵敏度高的精密设备产生的不必要振动，以提高精密设备的性能，具有较好的性能及通用性。该隔振台的主动隔振频率为0.5Hz-200Hz，被动隔振频率200Hz，其能够整合到现有的需要低频隔振的设备...