掩模对准曝光机的试验方法：1、环境条件检查：a、温度、相对湿度检查：试验期间，用精度不低于1级的干湿球湿度计每4h测试一次环境的温度，相对湿度。千湿球湿度计应置放在与工作台高度一致，没有气流的地方；b、洁净度检查：试验期间，每4h测试一次洁净度。选用测试精度能满足相应洁净度等级的光学粒子计数器检测有效工作区域的洁净度；c、地面振动检查：试验期间，测试一次地面振动幅度，振动分析仪的拾振装置应置放于工作台机座附近。2、外观检查：a、用目视法进行外观质量检查；b、用手感方法检查移动...

电容位移传感器是一种非接触电容式原理的精密测量仪器，具有一般非接触式仪器所共有的无磨擦、无损磨特点外，还具有信噪比大，灵敏度高，零漂小，频响宽，非线性小，精度稳定性好，抗电磁干扰能力强和使用操作方便等优点。在国内研究所，高等院校、工厂和军工部门得到广泛应用，成为科研、教学和生产中一种*的测试仪器。本产品基于平板电容原理。电容的两极分别是传感器和与之相对的被测物体。如果有稳定交流电通过传感器，输出交流电的电压会与传感器到被测物体之间的距离成正比关系，从而可以通过测量电压的变化得...

光学膜厚仪是一种非接触式测量仪器，一般会运用在生产厂商大量生产产品的过程，由于误差经常会导致产品全部报废，这时候就需要运用光学膜厚仪来介入到生产环境，避免这种情况的发生。光学膜厚仪的光学机械组件：1、光源：宽光谱光源；2、探测器：高灵敏度低噪音阵列式光谱探测器；3、控制箱：含电路板、控制单元、电源、光源；4、输出设备：软件界面支持输出、输入光谱数据库。系统特点：1、嵌入式在线诊断方式；2、免费离线分析软件；3、精细的历史数据功能，帮助用户有效地存储，重现与绘制测试结果；4、主...

随着光学在各个领域当中的应用，使得它也能为测厚行业里带来贡献。其中就有大众所知的光学膜厚仪。它利用光学的特点，能够直接检测出物件涂层、或者是其它物件的厚度。该仪器所使用的原理，便是光的折射与反射。这种仪器在使用时，摆放在物件的上方，从仪器当中发射了垂直向下的可视光线。其中一部分光会在膜的表面形成一个反射，另一部分则会透过仪器的薄膜，在薄膜与物件之间的界面开成反射，这个时候，薄膜的表面，以及薄膜的底部同时反射的光会造成干涉的现象。仪器便是利用了这样的一种现象，从而测量出物件的厚...

作为光刻工艺中zuì重要设备之一，接触式光刻机一次次革命性的突破，使大模集成电路制造技术飞速向前发展。了解提高接触式光刻机性能的关键技术以及了解下一代光刻技术的发展情况是十分重要的。光刻意思是用光来制作一个图形（工艺）；在硅片表面匀胶，然后将掩模版上的图形转移光刻胶上的过程将器件或电路结构临时“复制”到硅片上的过程。一般的光刻工艺要经历硅片表面清洗烘干、涂底、旋涂光刻胶、软烘、对准曝光、后烘、显影、硬烘、刻蚀等工序。接触式光刻机是集成电路芯片制造的关键核心设备。光刻机是微电子...